氮化铝掺氮化钪靶材的生产工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910970535.4

申请日：

2019-10-13

公开(公告)号：

CN110590375A

公开(公告)日：

2019-12-20

发明(设计)人：

吴文斌舒小敏

申请人：

申请人地址：

330800 江西省宜春市高安市新世纪工业园通城西大道

IPC主分类号：

C04B35582

IPC分类号：

C04B3558 C04B35626 C04B35622 C04B35645 C23C1435 C23C1406

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-20	公开	公开
2022-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/582 申请日:20191013

共 50 条

[1]

氮化铝掺氮化钪镀膜材料 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN111962021A ,2020-11-20

[2]

一种掺钪氮化铝薄膜的制备方法及掺钪氮化铝薄膜 [P].

郭凯 ;

赵腾达 ;

宋双艳 ;

陶庆爽 ;

李宏广 ;

翟思甜 .

中国专利 :CN120857847A ,2025-10-28

[3]

氮化铝钪材料 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN110562936A ,2019-12-13

[4]

一种氮化铝钪靶材及其制备方法 [P].

邱从章 .

中国专利 :CN112723893B ,2021-04-30

[5]

生产氮化铝的方法以及氮化铝 [P].

三浦宏久 ;

松永博文 ;

田原务 .

中国专利 :CN100379679C ,2004-11-24

[6]

碲化锌掺碲化亚铜靶材的生产工艺 [P].

吴文斌 ;

舒小敏 .

中国专利 :CN109704766A ,2019-05-03

[7]

一种超薄氮化铝陶瓷基片的生产工艺 [P].

杨大胜 ;

施纯锡 ;

冯家伟 .

中国专利 :CN112876260B ,2021-06-01

[8]

一种掺杂的氮化铝钪靶材及其制备方法和应用 [P].

邱从章 .

中国专利 :CN112962071A ,2021-06-15

[9]

一种掺钪氮化铝蚀刻液及其应用 [P].

冯帆 ;

贺兆波 ;

叶瑞 ;

姜飞 ;

张庭 ;

班昌胜 ;

冯凯 ;

王书萍 ;

杜程 .

中国专利 :CN115044376A ,2022-09-13

[10]

一种钪掺氮化铝薄膜及其制备方法 [P].

赵祥永 ;

孙前 ;

刘肖男 ;

杨继业 ;

朱健秋 ;

张巧珍 .

中国专利 :CN120006230A ,2025-05-16

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