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微力学传感器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN97197404.7
申请日：
1997-11-21
公开(公告)号：
CN1228837A
公开(公告)日：
1999-09-15
发明(设计)人：
T·谢特
U·奈赫
C·希罗尔德
申请人：
申请人地址：
联邦德国慕尼黑
IPC主分类号：
G01L900
IPC分类号：
G01L114
G01H1106
H04R1900
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
马铁良;王忠忠
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-04-04 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101316520906 IPC(主分类):G01L 9/12 专利号:ZL971974047 变更事项:专利权人 变更前权利人:西门子公司 变更后权利人:英飞凌科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:德国慕尼黑 变更后权利人:德意志联邦共和国瑙伊比贝尔格市 登记生效日:20120223 |
| 1999-09-15 | 公开 | 公开 |
| 2018-01-05 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 9/12 申请日:19971121 授权公告日:20030416 终止日期:20161121 |
| 2003-04-16 | 授权 | 授权 |
| 1999-09-22 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |