用于制作微力学传感器的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN97181538.0

申请日：

1997-11-24

公开(公告)号：

CN1245559A

公开(公告)日：

2000-02-23

发明(设计)人：

T·沙伊特 U·奈赫尔 C·希罗尔德

申请人：

申请人地址：

联邦德国慕尼黑

IPC主分类号：

G01L900

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

马铁良;王忠忠

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2000-02-23	公开	公开
2002-12-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2000-03-01	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效

共 50 条

[1]

微力学传感器 [P].

T·谢特 ;

U·奈赫 ;

C·希罗尔德 .

中国专利 :CN1228837A ,1999-09-15

[2]

动力学微特征传感器 [P].

况朋 ;

陈卓 ;

刘芝华 .

中国专利 :CN305153222S ,2019-05-10

[3]

力学传感器 [P].

刘晓霞 ;

张维勇 ;

赵贺 .

中国专利 :CN302802519S ,2014-04-23

[4]

力学传感器 [P].

吉田和广 ;

浜村宏 .

中国专利 :CN102918401A ,2013-02-06

[5]

力学传感器 [P].

冯容士 ;

李明君 .

中国专利 :CN3406708D ,2004-11-24

[6]

传感器以及用于制造传感器的方法 [P].

张彦莉 ;

R.瓦森 ;

D.E.马克 ;

G.毛尔 ;

O.吉永 .

中国专利 :CN107073651A ,2017-08-18

[7]

用于加工传感器的方法和传感器 [P].

F·韦尔克 ;

C·于芬格 ;

H·莱布兰德 .

德国专利 :CN118057135A ,2024-05-21

[8]

传感器和用于制造传感器的方法 [P].

J·弗里德尔 .

中国专利 :CN114076653A ,2022-02-22

[9]

摩擦纳米发电机、微力学传感器和传感系统 [P].

李舟 ;

田静静 ;

欧阳涵 .

中国专利 :CN108429482B ,2018-08-21

[10]

用于制作传感器的自动化设备及制作传感器的方法 [P].

黄军 .

中国专利 :CN103928374A ,2014-07-16

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