表面处理方法、表面处理装置、表面处理基板及光电装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410031784.0

申请日：

2004-03-25

公开(公告)号：

CN1571117A

公开(公告)日：

2005-01-26

发明(设计)人：

平井利充长谷井宏宣

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李香兰

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-05-11	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101660481862 IPC(主分类):H01L 21/00 专利号:ZL2004100317840 申请日:20040325 授权公告日:20070627 终止日期:20150325
2005-03-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2005-01-26	公开	公开
2007-06-27	授权	授权

共 50 条

[1]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

长田道男 ;

北田良二 ;

广田敦司 .

中国专利 :CN100436096C ,2003-05-28

[2]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

松野竹己 .

中国专利 :CN100360302C ,2004-09-22

[3]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

三河宽明 ;

长安弘贡 ;

杉山茂广 ;

佐藤匠 ;

川崎耕平 ;

高木佑辅 .

中国专利 :CN109923241A ,2019-06-21

[4]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

蔡东明 .

中国专利 :CN120772972A ,2025-10-14

[5]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

小久保光典 ;

福山聪 ;

栗原义明 ;

难波武志 .

日本专利 :CN116324012B ,2025-05-27

[6]

表面处理方法及表面处理装置 [P].

石榑文昭 ;

稻吉荣 ;

藤田胜博 ;

佐藤洋志 .

中国专利 :CN109423674B ,2019-03-05

[7]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

奥田朋士 ;

松山大辅 ;

立花真司 ;

内海雅之 .

中国专利 :CN111094635A ,2020-05-01

[8]

表面处理装置及工件表面处理方法 [P].

万明 .

中国专利 :CN113146366A ,2021-07-23

[9]

基板的表面处理装置和其表面处理方法 [P].

黑田圭儿 ;

柳本博 ;

森连太郎 ;

后藤洸圣 ;

平松孝浩 ;

织田容征 .

日本专利 :CN119657373A ,2025-03-21

[10]

表面处理装置以及表面处理方法 [P].

井村了太 .

中国专利 :CN110891735A ,2020-03-17

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