表面处理装置及表面处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202180057590.X

申请日：

2021-07-12

公开(公告)号：

CN116324012B

公开(公告)日：

2025-05-27

发明(设计)人：

小久保光典福山聪栗原义明难波武志

申请人：

芝浦机械株式会社

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

H05H1/46 C23C16/44 C23C14/56 C23C14/50 B01J19/08

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

任玉敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-27	授权	授权

共 50 条

[1]

表面处理装置以及表面处理方法 [P].

小久保光典 ;

福山聪 ;

深田和宏 ;

末木凜太郎 ;

栗原义明 ;

难波武志 .

日本专利 :CN117940604A ,2024-04-26

[2]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

松野竹己 .

中国专利 :CN100360302C ,2004-09-22

[3]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

长田道男 ;

北田良二 ;

广田敦司 .

中国专利 :CN100436096C ,2003-05-28

[4]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

三河宽明 ;

长安弘贡 ;

杉山茂广 ;

佐藤匠 ;

川崎耕平 ;

高木佑辅 .

中国专利 :CN109923241A ,2019-06-21

[5]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

蔡东明 .

中国专利 :CN120772972A ,2025-10-14

[6]

表面处理方法及表面处理装置 [P].

石榑文昭 ;

稻吉荣 ;

藤田胜博 ;

佐藤洋志 .

中国专利 :CN109423674B ,2019-03-05

[7]

表面处理装置及表面处理方法 [P].

奥田朋士 ;

松山大辅 ;

立花真司 ;

内海雅之 .

中国专利 :CN111094635A ,2020-05-01

[8]

表面处理方法、表面处理装置、表面处理基板及光电装置 [P].

平井利充 ;

长谷井宏宣 .

中国专利 :CN1571117A ,2005-01-26

[9]

表面处理装置 [P].

福山聪 ;

栗原义明 ;

难波武志 ;

能势功一 .

中国专利 :CN114450082A ,2022-05-06

[10]

表面处理装置 [P].

福山聪 ;

栗原义明 ;

难波武志 ;

能势功一 .

日本专利 :CN114450082B ,2025-03-25

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