透射光斑红外热成像检测装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201920446840.9
申请日
2019-04-03
公开(公告)号
CN209911269U
公开(公告)日
2020-01-07
发明(设计)人
唐庆菊 高帅帅 王云泽
申请人
申请人地址
150027 黑龙江省哈尔滨市松北区浦源路2468号
IPC主分类号
G01N2572
IPC分类号
代理机构
哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206
代理人
高媛
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
脉冲分束激光激励半导体硅片微裂纹缺陷的透射光斑红外热成像检测装置及方法 [P]. 
唐庆菊 ;
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王云泽 .
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[2]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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