学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

OPC修正方法及OPC修正系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910385297.0
申请日：
2019-05-09
公开(公告)号：
CN110058485B
公开(公告)日：
2019-07-26
发明(设计)人：
乔彦辉 李林 于世瑞
申请人：
申请人地址：
201315 上海市浦东新区良腾路6号
IPC主分类号：
G03F136
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
屈蘅
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-08-20 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/36 申请日:20190509
2022-04-22 授权 授权
2019-07-26 公开 公开
共 50 条
[1]
OPC修正方法及OPC修正装置 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN112433441A ,2021-03-02
[2]
一种OPC修正方法及OPC修正系统 [P]. 
刘秀梅 ;
罗招龙 .
中国专利 :CN117850154A ,2024-04-09
[3]
一种OPC修正方法及OPC修正系统 [P]. 
刘秀梅 ;
罗招龙 .
中国专利 :CN117850154B ,2024-06-07
[4]
OPC修正方法及半导体器件 [P]. 
吴强 .
中国专利 :CN118210193A ,2024-06-18
[5]
非平滑OPC图形的修正方法 [P]. 
王聪玉 ;
金晓亮 .
中国专利 :CN113759670B ,2024-01-19
[6]
非平滑OPC图形的修正方法 [P]. 
王聪玉 ;
金晓亮 .
中国专利 :CN113759670A ,2021-12-07
[7]
OPC修正程序的MRC取值方法 [P]. 
熊丽娜 ;
于世瑞 .
中国专利 :CN110398879A ,2019-11-01
[8]
提高OPC修正精度的方法 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN112764308B ,2021-05-07
[9]
提高热点工艺窗口的OPC修正方法 [P]. 
王丹 ;
赵璇 ;
于世瑞 .
中国专利 :CN109116675A ,2019-01-01
[10]
一种OPC修正方法、装置、设备及存储介质 [P]. 
李垚村 .
中国专利 :CN120831861A ,2025-10-24
12345