一种OPC修正方法、装置、设备及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410458889.1

申请日：

2024-04-16

公开(公告)号：

CN120831861A

公开(公告)日：

2025-10-24

发明(设计)人：

李垚村

申请人：

上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司

申请人地址：

201807 上海市嘉定区娄陆公路497号

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

杨华

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-24	公开	公开
2025-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/36申请日:20240416

共 50 条

[1]

OPC修正方法、装置、电子设备及计算机存储介质 [P].

盛明珠 .

中国专利 :CN115407604A ,2022-11-29

[2]

OPC修正方法及OPC修正装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112433441A ,2021-03-02

[3]

OPC修正方法及OPC修正系统 [P].

乔彦辉 ;

李林 ;

于世瑞 .

中国专利 :CN110058485B ,2019-07-26

[4]

一种包围结构的OPC修正方法、装置、设备及存储介质 [P].

王超 .

中国专利 :CN120821156A ,2025-10-21

[5]

一种修正方法、装置、设备及存储介质 [P].

武浩鹏 ;

贺彪 ;

李建成 .

中国专利 :CN109655851A ,2019-04-19

[6]

OPC程序的修正方法、系统、存储介质及电子设备 [P].

吴萍 ;

金晓亮 ;

冯佳计 .

中国专利 :CN114355722A ,2022-04-15

[7]

OPC程序的修正方法、系统、存储介质及电子设备 [P].

吴萍 ;

金晓亮 ;

冯佳计 .

中国专利 :CN114355722B ,2025-12-19

[8]

信号修正方法、装置、设备及存储介质 [P].

郑有胜 ;

曾翰典 ;

陈永生 ;

涂世明 ;

叶其仁 .

中国专利 :CN118836946A ,2024-10-25

[9]

色彩修正方法、装置、设备及存储介质 [P].

马杨晓 ;

孙燕 .

中国专利 :CN117676029A ,2024-03-08

[10]

版图修正方法、装置、设备及存储介质 [P].

石方毅 ;

曾辉 .

中国专利 :CN117348332A ,2024-01-05

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