增强型HEMT的p型氮化物栅的制备方法、增强型氮化物HEMT及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011645381.0

申请日：

2020-12-31

公开(公告)号：

CN112736137A

公开(公告)日：

2021-04-30

发明(设计)人：

任远程川陈志涛刘宁炀赵维姜南

申请人：

申请人地址：

510651 广东省广州市天河区长兴路363号

IPC主分类号：

H01L29423

IPC分类号：

H01L2949 H01L29778 H01L21335

代理机构：

北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400

代理人：

李彬彬;陈莉娥

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/423 申请日:20201231
2021-04-30	公开	公开

共 50 条

[1]

增强型HEMT的p型氮化物栅的制备方法及应用其制备增强型氮化物HEMT的方法 [P].

程川 ;

刘宁炀 ;

何晨光 ;

李成果 ;

陈志涛 ;

李述体 ;

姜南 .

中国专利 :CN113140630A ,2021-07-20

[2]

III族氮化物增强型HEMT及其制备方法 [P].

孙钱 ;

周宇 ;

李水明 ;

戴淑君 ;

高宏伟 ;

杨辉 .

中国专利 :CN106033724A ,2016-10-19

[3]

Ⅲ族氮化物增强型HEMT器件 [P].

张志利 ;

蔡勇 ;

张宝顺 ;

付凯 ;

于国浩 ;

孙世闯 ;

宋亮 .

中国专利 :CN106158949A ,2016-11-23

[4]

Ⅲ族氮化物增强型HEMT器件及其制备方法 [P].

宋亮 ;

于国浩 ;

张晓东 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN112289858A ,2021-01-29

[5]

Ⅲ族氮化物增强型HEMT器件及其制备方法 [P].

张宝顺 ;

宋亮 ;

张晓东 ;

于国浩 .

中国专利 :CN112289860B ,2024-06-14

[6]

Ⅲ族氮化物增强型HEMT器件及其制备方法 [P].

张宝顺 ;

宋亮 ;

张晓东 ;

于国浩 .

中国专利 :CN112289860A ,2021-01-29

[7]

Ⅲ族氮化物增强型HEMT器件 [P].

蔡勇 ;

于国浩 ;

董志华 ;

王越 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN102427085A ,2012-04-25

[8]

二次外延P型氮化物实现增强型HEMT的方法及增强型HEMT [P].

于国浩 ;

张志利 ;

蔡勇 ;

张宝顺 ;

付凯 ;

孙世闯 ;

宋亮 .

中国专利 :CN106206309A ,2016-12-07

[9]

基于p型层的III族氮化物增强型HEMT及其制备方法 [P].

孙钱 ;

周宇 ;

李水明 ;

陈小雪 ;

戴淑君 ;

高宏伟 ;

冯美鑫 ;

杨辉 .

中国专利 :CN106486363A ,2017-03-08

[10]

二次外延P型Ⅲ族氮化物实现增强型HEMT的方法及增强型HEMT [P].

于国浩 ;

张志利 ;

张宝顺 ;

蔡勇 ;

付凯 ;

孙世闯 ;

宋亮 .

中国专利 :CN106298903A ,2017-01-04

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