具有屏蔽的接触环的电镀处理器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280064367.9

申请日：

2012-12-06

公开(公告)号：

CN104054160B

公开(公告)日：

2014-09-17

发明(设计)人：

格雷戈里·J·威尔逊保罗·R·麦克休

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21285

IPC分类号：

H01L2128

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/285 申请日:20121206 授权公告日:20160824 终止日期:20171206
2016-08-24	授权	授权
2014-09-17	公开	公开
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587550837 IPC(主分类):H01L 21/285 专利申请号:2012800643679 申请日:20121206

共 50 条

[1]

具有径向偏移接触指的电镀接触环 [P].

格雷戈里·J·威尔逊 .

中国专利 :CN108701643B ,2018-10-23

[2]

用于电化学处理器的接触环 [P].

兰迪·A·哈里斯 ;

保罗·R·麦克休 ;

格雷戈里·J·威尔逊 .

中国专利 :CN103959445A ,2014-07-30

[3]

具有电流取样电极的电镀处理器 [P].

格雷戈里·J·威尔逊 ;

保罗·R·麦克休 .

中国专利 :CN106480491A ,2017-03-08

[4]

电镀处理器和用于电镀处理器中的搅拌器 [P].

保罗·王·瓦肯布格 ;

罗伯特·米科拉 ;

保罗·R·麦克休 ;

格雷戈里·J·威尔逊 ;

凯尔·莫瑞安·汉森 ;

艾里克·J·伯格曼 ;

约翰·L·科洛克 .

中国专利 :CN205954144U ,2017-02-15

[5]

电镀处理器 [P].

格雷戈里·J·威尔逊 ;

保罗·R·麦克休 .

中国专利 :CN206204466U ,2017-05-31

[6]

具有薄隔膜支撑件的电镀处理器 [P].

丹尼尔·J·伍德拉夫 .

中国专利 :CN103849919A ,2014-06-11

[7]

电镀处理器和供电镀处理器中使用的搅拌桨 [P].

格雷戈里·J·威尔逊 ;

保罗·R·麦克休 .

中国专利 :CN206109586U ,2017-04-19

[8]

具有接触环除镀功能的电镀设备 [P].

兰迪·A·哈里斯 ;

布赖恩·J·普奇 .

中国专利 :CN103695990A ,2014-04-02

[9]

电镀处理器的自动原位控制 [P].

格雷戈里·J·威尔逊 ;

保罗·R·麦克休 .

中国专利 :CN104233423A ,2014-12-24

[10]

具有高效检索功能的处理器 [P].

张国飙 .

中国专利 :CN111627909A ,2020-09-04

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