微机械硅谐振梁加速度计

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510775441.3

申请日：

2015-11-15

公开(公告)号：

CN106706958A

公开(公告)日：

2017-05-24

发明(设计)人：

孙宗贤彭一书

申请人：

申请人地址：

408000 重庆市涪陵区太极大道25号1单元6-2

IPC主分类号：

G01P15097

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-24	公开	公开
2017-05-31	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752444172 IPC(主分类):G01P 15/097 专利申请号:2015107754413 申请公布日:20170524

共 50 条

[1]

微机械硅谐振梁加速度计 [P].

陈德勇 ;

陈健 ;

王军波 .

中国专利 :CN100447571C ,2007-06-13

[2]

硅微机械加速度计 [P].

陶永康 ;

刘云峰 ;

董景新 .

中国专利 :CN103983807A ,2014-08-13

[3]

电容式微机械加速度计 [P].

刘恒 ;

于步云 ;

孟瑞丽 ;

孙冬娇 .

中国专利 :CN204008697U ,2014-12-10

[4]

硅微机械谐振式加速度计集成测控装置 [P].

夏国明 ;

赵阳 ;

裘安萍 ;

施芹 .

中国专利 :CN106248995A ,2016-12-21

[5]

硅微谐振式加速度计 [P].

董景新 ;

赵淑明 ;

刘云峰 .

中国专利 :CN103901227A ,2014-07-02

[6]

一种谐振式微机械加速度计 [P].

樊尚春 ;

任杰 .

中国专利 :CN1844931A ,2006-10-11

[7]

硅微机械谐振式加速度计集成测控装置 [P].

夏国明 ;

赵阳 ;

裘安萍 ;

施芹 .

中国专利 :CN206114699U ,2017-04-19

[8]

单锚点谐振式微机械加速度计 [P].

刘文立 ;

请求不公布姓名 ;

马宏 ;

顾昊宇 .

中国专利 :CN120779060A ,2025-10-14

[9]

框架式电容硅微机械加速度计 [P].

裘安萍 ;

施芹 ;

苏岩 .

中国专利 :CN101858931A ,2010-10-13

[10]

框架式电容硅微机械加速度计 [P].

裘安萍 ;

施芹 ;

苏岩 .

中国专利 :CN201852851U ,2011-06-01

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