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一种硅片镀膜用石墨舟
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910421035.5
申请日：
2019-05-21
公开(公告)号：
CN110060951A
公开(公告)日：
2019-07-26
发明(设计)人：
王博文
孟祥熙
申请人：
申请人地址：
213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
C23C1654
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-08-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20190521 |
| 2019-07-26 | 公开 | 公开 |
| 2020-04-17 | 著录事项变更 | 著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/673 变更事项:申请人 变更前:常州时创能源科技有限公司 变更后:常州时创能源股份有限公司 变更事项:地址 变更前:213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号 变更后:213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号 |