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一种离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201921825350.6
申请日：
2019-10-28
公开(公告)号：
CN210916235U
公开(公告)日：
2020-07-03
发明(设计)人：
彭建
田琳
夏虎
申请人：
申请人地址：
102212 北京市昌平区崔村镇西辛峰村南6区1号
IPC主分类号：
C23C1432
IPC分类号：
代理机构：
北京高沃律师事务所 11569
代理人：
赵晓琳
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-03 | 授权 | 授权 |