一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202022125287.4

申请日：

2020-09-24

公开(公告)号：

CN213093216U

公开(公告)日：

2021-04-30

发明(设计)人：

张天陈友好田军

申请人：

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

江苏瑞途律师事务所 32346

代理人：

韦超峰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片翻转输送系统 [P].

李新丰 ;

邱其伟 ;

张天 .

中国专利 :CN213504654U ,2021-06-22

[2]

一种硅片翻转输送系统及输送方法 [P].

张天 ;

陶意 ;

邱其伟 .

中国专利 :CN112193781A ,2021-01-08

[3]

一种硅片翻转输送系统及输送方法 [P].

张天 ;

陶意 ;

邱其伟 .

中国专利 :CN112193781B ,2025-02-18

[4]

一种硅片上料装置、硅片下料装置及硅片翻转输送系统 [P].

汤帅 ;

王彦齐 ;

邱其伟 .

中国专利 :CN213093215U ,2021-04-30

[5]

一种硅片翻转组件、硅片输送装置及硅片加工系统 [P].

严文言 ;

李雪锋 ;

李阳 .

中国专利 :CN222051725U ,2024-11-22

[6]

硅片翻转装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206574685U ,2017-10-20

[7]

硅片翻转装置及硅片镀膜处理系统 [P].

林佳继 ;

朱鹤囡 ;

戴佳 .

中国专利 :CN115637423A ,2023-01-24

[8]

一种硅片输送翻转装置 [P].

王善敢 ;

房开乐 ;

陆瑜 ;

吴瑶 .

中国专利 :CN117438358A ,2024-01-23

[9]

一种硅片翻转输送装置 [P].

冯显火 .

中国专利 :CN209889748U ,2020-01-03

[10]

硅片翻转装置及硅片生产系统 [P].

王崇宇 .

中国专利 :CN222785272U ,2025-04-22

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