硅片翻转装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720273806.7

申请日：

2017-03-20

公开(公告)号：

CN206574685U

公开(公告)日：

2017-10-20

发明(设计)人：

孙铁囤汤平姚伟忠

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 H01L3118

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258

代理人：

郑云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-20	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片翻转装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN106847731A ,2017-06-13

[2]

硅片花篮倾斜翻转装置 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN204946877U ,2016-01-06

[3]

一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统 [P].

张天 ;

陈友好 ;

田军 .

中国专利 :CN213093216U ,2021-04-30

[4]

硅片承载篮翻转装置 [P].

马胜南 ;

轩云喜 .

中国专利 :CN206179835U ,2017-05-17

[5]

硅片翻转机构及应用该翻转机构的硅片翻转装置 [P].

潘加永 ;

戴秋喜 .

中国专利 :CN208225898U ,2018-12-11

[6]

硅片花篮夹持翻转装置 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN204946870U ,2016-01-06

[7]

一种硅片翻转装置 [P].

费存勇 ;

赵福祥 ;

崔钟亨 .

中国专利 :CN208903986U ,2019-05-24

[8]

一种硅片翻转组件、硅片输送装置及硅片加工系统 [P].

严文言 ;

李雪锋 ;

李阳 .

中国专利 :CN222051725U ,2024-11-22

[9]

硅片自动分离设备 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206622346U ,2017-11-10

[10]

一种硅片篮翻转装置 [P].

崔振强 ;

靳立辉 ;

王国瑞 ;

任志高 ;

杨骅 ;

高翔 ;

赵晓光 ;

刘奇 .

中国专利 :CN208307817U ,2019-01-01

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