一种硅片翻转装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821565276.4

申请日：

2018-09-25

公开(公告)号：

CN208903986U

公开(公告)日：

2019-05-24

发明(设计)人：

费存勇赵福祥崔钟亨

申请人：

申请人地址：

226200 江苏省南通市启东经济开发区林洋路888号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L21683 H01L3118

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司 32103

代理人：

孙仿卫

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-24	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片翻转装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206574685U ,2017-10-20

[2]

一种硅片自动翻转装置 [P].

张弛 ;

王志刚 ;

孙小俊 ;

王四海 .

中国专利 :CN206013799U ,2017-03-15

[3]

一种硅片单独翻转装置 [P].

张弛 ;

王志刚 ;

王四海 .

中国专利 :CN208516444U ,2019-02-19

[4]

一种硅片同时翻转装置 [P].

张弛 ;

王志刚 ;

王四海 .

中国专利 :CN208970492U ,2019-06-11

[5]

一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统 [P].

张天 ;

陈友好 ;

田军 .

中国专利 :CN213093216U ,2021-04-30

[6]

一种硅片石英舟翻转装置 [P].

安迪 .

中国专利 :CN215896363U ,2022-02-22

[7]

一种硅片翻转装置 [P].

吴廷斌 ;

张学强 ;

张建伟 ;

罗银兵 ;

朱方松 .

中国专利 :CN214588801U ,2021-11-02

[8]

一种硅片翻转装置 [P].

张洪旺 ;

史卫利 .

中国专利 :CN207596054U ,2018-07-10

[9]

一种用于PERC电池加工的硅片翻转装置 [P].

何飞 ;

徐小萍 .

中国专利 :CN210200687U ,2020-03-27

[10]

硅片翻转装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN106847731A ,2017-06-13

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