硅片翻转装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710166701.6

申请日：

2017-03-20

公开(公告)号：

CN106847731A

公开(公告)日：

2017-06-13

发明(设计)人：

孙铁囤汤平姚伟忠

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 H01L3118

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258

代理人：

郑云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-13	公开	公开
2017-07-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2017101667016 申请日:20170320 号牌文件序号:101731965703

共 50 条

[1]

硅片翻转装置 [P].

孙铁囤 ;

汤平 ;

姚伟忠 .

中国专利 :CN206574685U ,2017-10-20

[2]

硅片花篮倾斜翻转装置 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN204946877U ,2016-01-06

[3]

一种硅片翻转装置及硅片翻转输送系统 [P].

张天 ;

陈友好 ;

田军 .

中国专利 :CN213093216U ,2021-04-30

[4]

硅片承载篮翻转装置 [P].

马胜南 ;

轩云喜 .

中国专利 :CN206179835U ,2017-05-17

[5]

硅片翻转机构及应用该翻转机构的硅片翻转装置 [P].

潘加永 ;

戴秋喜 .

中国专利 :CN208225898U ,2018-12-11

[6]

硅片翻转装置及硅片镀膜处理系统 [P].

林佳继 ;

朱鹤囡 ;

戴佳 .

中国专利 :CN115637423A ,2023-01-24

[7]

硅片花篮夹持翻转装置 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN204946870U ,2016-01-06

[8]

一种硅片翻转装置 [P].

费存勇 ;

赵福祥 ;

崔钟亨 .

中国专利 :CN208903986U ,2019-05-24

[9]

一种硅片翻转组件、硅片输送装置及硅片加工系统 [P].

严文言 ;

李雪锋 ;

李阳 .

中国专利 :CN222051725U ,2024-11-22

[10]

硅片翻转装置及硅片生产系统 [P].

王崇宇 .

中国专利 :CN222785272U ,2025-04-22

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