无残余层纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310548641.6

申请日：

2013-11-07

公开(公告)号：

CN103579434B

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

崔玉双袁长胜

申请人：

申请人地址：

214192 江苏省无锡市芙蓉中三路99号

IPC主分类号：

G03F700

IPC分类号：

H01L3300

代理机构：

南京知识律师事务所 32207

代理人：

李媛媛

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-12	公开	公开
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101578341274 IPC(主分类):H01L 33/20 专利申请号:2013105486416 申请日:20131107
2016-02-17	授权	授权

共 50 条

[1]

基于复合软模板纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法 [P].

卢明辉 ;

林亮 ;

葛海雄 ;

余思远 ;

袁长胜 ;

陈延峰 .

中国专利 :CN103117339A ,2013-05-22

[2]

纳米图案化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

李虞锋 ;

云峰 .

中国专利 :CN103995435B ,2014-08-20

[3]

一种基于纳米压印技术制备图形化蓝宝石衬底的方法 [P].

陈少强 ;

翁国恩 ;

胡小波 ;

涂亮亮 ;

魏明德 .

中国专利 :CN105514228B ,2016-04-20

[4]

一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法 [P].

王怀兵 ;

蔡金 ;

王辉 ;

吴思 ;

崔峥 ;

高育龙 .

中国专利 :CN103840050A ,2014-06-04

[5]

图案化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

谢丁生 ;

谢红 .

中国专利 :CN110767779A ,2020-02-07

[6]

一种在蓝宝石衬底上制备纳米图案的方法 [P].

葛海雄 ;

郭旭 ;

夏丁福 ;

陈延峰 ;

李丰 ;

袁孝 .

中国专利 :CN102544264B ,2012-07-04

[7]

具有集成光子层的图案化蓝宝石衬底 [P].

A·洛佩兹朱莉娅 .

美国专利 :CN120712921A ,2025-09-26

[8]

一种利用相分离技术制备纳米图案化蓝宝石衬底的方法 [P].

葛海雄 ;

郭旭 ;

袁长胜 ;

崔玉双 ;

陈延峰 .

中国专利 :CN105355745A ,2016-02-24

[9]

一种大面积图案化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

倪蒙阳 ;

郭旭 ;

袁长胜 .

中国专利 :CN103579421A ,2014-02-12

[10]

一种微纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

吴飞翔 ;

林海凤 ;

杜治新 ;

汪健 ;

董发 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN106469769A ,2017-03-01

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