一种大面积图案化蓝宝石衬底的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310549792.3

申请日：

2013-11-07

公开(公告)号：

CN103579421A

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

倪蒙阳郭旭袁长胜

申请人：

申请人地址：

214192 江苏省无锡市芙蓉中三路99号

IPC主分类号：

H01L3300

IPC分类号：

G03F700 B82Y4000

代理机构：

南京知识律师事务所 32207

代理人：

李媛媛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101578332024 IPC(主分类):H01L 33/00 专利申请号:2013105497923 申请日:20131107
2017-03-22	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101748855182 IPC(主分类):G03F 7/00 专利申请号:2013105497923 申请公布日:20140212
2014-02-12	公开	公开

共 50 条

[1]

纳米图案化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

李虞锋 ;

云峰 .

中国专利 :CN103995435B ,2014-08-20

[2]

图案化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

谢丁生 ;

谢红 .

中国专利 :CN110767779A ,2020-02-07

[3]

高效率、低成本、大面积图形化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

张化宇 ;

汪桂根 ;

崔林 ;

韩杰才 .

中国专利 :CN103337575A ,2013-10-02

[4]

一种在蓝宝石衬底上制备纳米图案的方法 [P].

葛海雄 ;

郭旭 ;

夏丁福 ;

陈延峰 ;

李丰 ;

袁孝 .

中国专利 :CN102544264B ,2012-07-04

[5]

无残余层纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法 [P].

崔玉双 ;

袁长胜 .

中国专利 :CN103579434B ,2014-02-12

[6]

基于复合软模板纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法 [P].

卢明辉 ;

林亮 ;

葛海雄 ;

余思远 ;

袁长胜 ;

陈延峰 .

中国专利 :CN103117339A ,2013-05-22

[7]

一种改善图案化蓝宝石衬底良品率的方法 [P].

王晓靁 ;

刘伯彦 ;

徐常基 ;

钟其龙 .

中国专利 :CN104377285A ,2015-02-25

[8]

一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法 [P].

葛海雄 ;

郭旭 ;

袁长胜 ;

崔玉双 ;

陈延峰 .

中国专利 :CN104900489A ,2015-09-09

[9]

一种图形化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

许南发 ;

李志 ;

席庆男 ;

王晓慧 .

中国专利 :CN110854012A ,2020-02-28

[10]

图案化蓝宝石衬底的制作工艺 [P].

梁红凯 ;

王宏 ;

谷战智 .

中国专利 :CN103426980B ,2013-12-04

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