一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510213029.2

申请日：

2015-04-29

公开(公告)号：

CN104900489A

公开(公告)日：

2015-09-09

发明(设计)人：

葛海雄郭旭袁长胜崔玉双陈延峰

申请人：

申请人地址：

210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L3322 B82Y4000

代理机构：

南京知识律师事务所 32207

代理人：

李媛媛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-07	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101628110978 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2015102130292 申请日:20150429
2015-09-09	公开	公开
2019-01-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20150909

共 50 条

[1]

纳米图案化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

李虞锋 ;

云峰 .

中国专利 :CN103995435B ,2014-08-20

[2]

纳米/微米复合图形化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

周泉斌 ;

徐明升 ;

王洪 .

中国专利 :CN106384770A ,2017-02-08

[3]

图案化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

谢丁生 ;

谢红 .

中国专利 :CN110767779A ,2020-02-07

[4]

基于复合软模板纳米压印技术制备图案化蓝宝石衬底的方法 [P].

卢明辉 ;

林亮 ;

葛海雄 ;

余思远 ;

袁长胜 ;

陈延峰 .

中国专利 :CN103117339A ,2013-05-22

[5]

一种大面积图案化蓝宝石衬底的制备方法 [P].

倪蒙阳 ;

郭旭 ;

袁长胜 .

中国专利 :CN103579421A ,2014-02-12

[6]

一种在透光衬底上制备微纳米结构图案的方法 [P].

李若松 ;

黄翀 .

中国专利 :CN108091552B ,2018-05-29

[7]

一种微纳米图形化蓝宝石衬底 [P].

徐翊翔 ;

李彬彬 ;

林基明 ;

徐光 .

中国专利 :CN206001285U ,2017-03-08

[8]

一种微纳米图形化蓝宝石衬底 [P].

吴飞翔 ;

林海凤 ;

杜治新 ;

汪健 ;

董发 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN204966528U ,2016-01-13

[9]

一种微纳米图形化蓝宝石衬底及其制备方法 [P].

吴飞翔 ;

林海凤 ;

杜治新 ;

汪健 ;

董发 ;

李鹏飞 .

中国专利 :CN106469769A ,2017-03-01

[10]

在蓝宝石衬底上制备微纳米图形的方法 [P].

董鹏 ;

王军喜 ;

闫建昌 ;

张韵 ;

曾建平 ;

孙莉莉 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN103311097A ,2013-09-18

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