一种在透光衬底上制备微纳米结构图案的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711467340.5

申请日：

2017-12-29

公开(公告)号：

CN108091552B

公开(公告)日：

2018-05-29

发明(设计)人：

李若松黄翀

申请人：

申请人地址：

410205 湖南省长沙市岳麓区麓谷企业广场B8栋7楼

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113

代理人：

郭立中

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-02	授权	授权
2018-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20171229
2018-05-29	公开	公开
2022-09-23	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/027 变更事项:专利权人变更前:长沙新材料产业研究院有限公司变更后:航天科工（长沙）新材料研究院有限公司变更事项:地址变更前:410205 湖南省长沙市岳麓区麓谷企业广场B8栋7楼变更后:410000 湖南省长沙市岳麓区麓谷企业广场B8栋7楼

共 50 条

[1]

一种在衬底上制备图案的方法 [P].

曾凡初 ;

黄翀 .

中国专利 :CN108198752A ,2018-06-22

[2]

一种基于纳米压印技术的防伪微纳米结构图案的制备方法 [P].

曾阿梅 ;

陈静 ;

方长青 ;

程有亮 .

中国专利 :CN114415468A ,2022-04-29

[3]

一种基于纳米压印技术的防伪微纳米结构图案的制备方法 [P].

曾阿梅 ;

陈静 ;

方长青 ;

程有亮 .

中国专利 :CN114415468B ,2025-05-23

[4]

一种微纳米结构图案的转印装置及方法 [P].

王维汉 ;

林家弘 ;

何侑伦 ;

巫震华 .

中国专利 :CN1716091B ,2006-01-04

[5]

一种制备新型微纳米复合结构图案化蓝宝石衬底的方法 [P].

葛海雄 ;

郭旭 ;

袁长胜 ;

崔玉双 ;

陈延峰 .

中国专利 :CN104900489A ,2015-09-09

[6]

使用压印光刻的纳米结构图案化 [P].

詹姆斯·J·沃特金斯 ;

罗希特·科塔里 .

中国专利 :CN109414726A ,2019-03-01

[7]

在衬底上形成图案的方法 [P].

李泰文 ;

杨拥平 .

中国专利 :CN111724816A ,2020-09-29

[8]

一种在绝缘衬底上制备纳米结构的方法 [P].

顾长志 ;

夏晓翔 ;

杨海方 ;

李俊杰 ;

罗强 ;

金爱子 .

中国专利 :CN101295131A ,2008-10-29

[9]

在蓝宝石衬底上制备微纳米图形的方法 [P].

董鹏 ;

王军喜 ;

闫建昌 ;

张韵 ;

曾建平 ;

孙莉莉 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN103311097A ,2013-09-18

[10]

一种在柔性衬底上制备金属纳米结构的方法 [P].

金崇君 ;

郑超群 ;

刘文杰 .

中国专利 :CN108467011A ,2018-08-31

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