用于晶圆磨削的可倾斜的主轴组件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010749039.9

申请日：

2020-07-30

公开(公告)号：

CN111805328A

公开(公告)日：

2020-10-23

发明(设计)人：

刘远航赵德文王江涛

申请人：

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园1号

IPC主分类号：

B24B722

IPC分类号：

B24B2700 B24B4102 B24B4106 B24B4720 B24B4912 B24B5506

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 7/22 申请日:20200730
2020-10-23	公开	公开

共 50 条

[1]

可倾斜的晶圆磨削主轴组件 [P].

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 ;

韩理文 .

中国专利 :CN213164517U ,2021-05-11

[2]

晶圆磨削主轴组件 [P].

路新春 ;

刘远航 ;

赵德文 ;

王江涛 .

中国专利 :CN213164839U ,2021-05-11

[3]

用于控制晶圆磨削面形的磨削设备 [P].

王江涛 ;

刘远航 ;

赵德文 ;

路新春 ;

马旭 .

中国专利 :CN111775001A ,2020-10-16

[4]

用于晶圆加工的吸附装置、晶圆磨削装置及晶圆减薄设备 [P].

路新春 ;

赵德文 ;

刘远航 ;

陈超 ;

赵四化 .

中国专利 :CN222874233U ,2025-05-16

[5]

用于晶圆磨削后的处理装置、方法和晶圆减薄设备 [P].

许刚 ;

马旭 ;

刘远航 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN118617224A ,2024-09-10

[6]

一种可快速定位的超精密晶圆磨削设备 [P].

许剑锋 ;

张建国 ;

郑正鼎 ;

汪凯 ;

刘明川 ;

陈肖 ;

肖峻峰 .

中国专利 :CN112621551B ,2021-04-09

[7]

用于超精密磨削的单自由度可调的主轴组件 [P].

王江涛 ;

路新春 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN111761510A ,2020-10-13

[8]

基于标准气缸的晶圆磨削吸附平台 [P].

许剑锋 ;

侍大为 ;

张建国 ;

郑正鼎 ;

于世超 .

中国专利 :CN114454023A ,2022-05-10

[9]

一种承载台主轴组件及晶圆减薄设备 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN223685021U ,2025-12-19

[10]

用于卷筒的支撑主轴组件 [P].

M·P·克兰普 ;

N·J·威克 ;

S·J·罗特 ;

D·A·威伦 .

中国专利 :CN112292059B ,2021-01-29

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