一种用于晶片夹持的静电卡盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200620008172.4

申请日：

2006-03-17

公开(公告)号：

CN2906920Y

公开(公告)日：

2007-05-30

发明(设计)人：

许波涛唐景庭易文杰

申请人：

申请人地址：

100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京中海智圣知识产权代理有限公司

代理人：

曾永珠

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-08-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101004375329 IPC(主分类):H01L 21/683 专利号:ZL2006200081724 申请日:20060317 授权公告日:20070530
2007-05-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于晶片夹持的静电卡盘 [P].

彭立波 ;

郭健辉 ;

易文杰 ;

许波涛 .

中国专利 :CN2922118Y ,2007-07-11

[2]

一种静电卡盘及基板夹持装置 [P].

李昊轩 .

中国专利 :CN207883673U ,2018-09-18

[3]

一种静电卡盘及基板夹持装置 [P].

何启龙 .

中国专利 :CN212355630U ,2021-01-15

[4]

一种用于静电卡盘的检测机构 [P].

张劲 ;

卢合强 ;

沈斌 .

中国专利 :CN221841797U ,2024-10-15

[5]

一种用于加热的静电卡盘机构 [P].

陈炯 .

中国专利 :CN221486472U ,2024-08-06

[6]

一种静电卡盘 [P].

王保明 ;

陈星 ;

孙江旗 ;

金亮 ;

冯逢 .

中国专利 :CN218160329U ,2022-12-27

[7]

一种静电卡盘 [P].

李君 ;

石锗元 ;

裘祝恒 ;

肖伟 .

中国专利 :CN222051733U ,2024-11-22

[8]

一种静电卡盘 [P].

张玉利 ;

杨鹏远 ;

王建冲 ;

侯占杰 ;

王超星 ;

黎远成 ;

何宏庆 ;

樊文凤 ;

唐娜娜 .

中国专利 :CN212659526U ,2021-03-05

[9]

一种静电卡盘 [P].

王铖熠 ;

刘小波 ;

程实然 ;

刘海洋 ;

陈兆超 ;

李娜 ;

邱勇 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN209199868U ,2019-08-02

[10]

一种静电卡盘 [P].

李君 ;

石锗元 ;

陈振宁 ;

裘祝恒 ;

肖伟 .

中国专利 :CN222507599U ,2025-02-18

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