一种用于晶片夹持的静电卡盘

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200620113049.9

申请日：

2006-04-24

公开(公告)号：

CN2922118Y

公开(公告)日：

2007-07-11

发明(设计)人：

彭立波郭健辉易文杰许波涛

申请人：

申请人地址：

100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京中海智圣知识产权代理有限公司

代理人：

曾永珠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-07-11	授权	授权
2009-06-17	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)

共 50 条

[1]

一种用于晶片夹持的静电卡盘 [P].

许波涛 ;

唐景庭 ;

易文杰 .

中国专利 :CN2906920Y ,2007-05-30

[2]

静电卡盘装置及晶片静电吸附方法 [P].

蒋志超 ;

罗兴安 ;

胡淼龙 ;

张春雷 ;

王林 .

中国专利 :CN111540707A ,2020-08-14

[3]

一种静电卡盘及基板夹持装置 [P].

李昊轩 .

中国专利 :CN207883673U ,2018-09-18

[4]

一种静电卡盘及基板夹持装置 [P].

何启龙 .

中国专利 :CN212355630U ,2021-01-15

[5]

一种用于静电卡盘的检测机构 [P].

张劲 ;

卢合强 ;

沈斌 .

中国专利 :CN221841797U ,2024-10-15

[6]

一种用于加热的静电卡盘机构 [P].

陈炯 .

中国专利 :CN221486472U ,2024-08-06

[7]

一种静电卡盘 [P].

王保明 ;

陈星 ;

孙江旗 ;

金亮 ;

冯逢 .

中国专利 :CN218160329U ,2022-12-27

[8]

一种静电卡盘 [P].

李君 ;

石锗元 ;

裘祝恒 ;

肖伟 .

中国专利 :CN222051733U ,2024-11-22

[9]

一种静电卡盘 [P].

张玉利 ;

杨鹏远 ;

王建冲 ;

侯占杰 ;

王超星 ;

黎远成 ;

何宏庆 ;

樊文凤 ;

唐娜娜 .

中国专利 :CN212659526U ,2021-03-05

[10]

一种静电卡盘 [P].

王铖熠 ;

刘小波 ;

程实然 ;

刘海洋 ;

陈兆超 ;

李娜 ;

邱勇 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN209199868U ,2019-08-02

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