静电卡盘装置及晶片静电吸附方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010388706.5

申请日：

2020-05-09

公开(公告)号：

CN111540707A

公开(公告)日：

2020-08-14

发明(设计)人：

蒋志超罗兴安胡淼龙张春雷王林

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区未来三路88号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L2711524 H01L2711551 H01L271157 H01L2711578

代理机构：

北京成创同维知识产权代理有限公司 11449

代理人：

蔡纯;杨思雨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-14	公开	公开
2020-09-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20200509
2022-02-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/683 申请公布日:20200814

共 50 条

[1]

静电卡盘装置和静电吸附方法 [P].

松崎荣 .

中国专利 :CN108242421B ,2018-07-03

[2]

静电卡盘、静电吸附装置及半导体设备 [P].

金屹梵 ;

刘普然 .

中国专利 :CN223321252U ,2025-09-09

[3]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120418951A ,2025-08-01

[4]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120283298A ,2025-07-08

[5]

静电卡盘部件及静电卡盘装置 [P].

金原勇贵 ;

一由拓 ;

乾敏祥 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120660184A ,2025-09-16

[6]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

乾敏祥 ;

一由拓 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118339645A ,2024-07-12

[7]

静电卡盘装置用电极片、静电卡盘装置及吸附方法 [P].

栃平顺 ;

岛武志 ;

长谷川雄一 ;

川濑律 .

中国专利 :CN1581460A ,2005-02-16

[8]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN118830071A ,2024-10-22

[9]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

一由拓 ;

乾敏祥 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118355482A ,2024-07-16

[10]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

日高宣浩 ;

钉本弘训 ;

小坂井守 .

中国专利 :CN108475657A ,2018-08-31

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