静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780006109.8

申请日：

2017-01-12

公开(公告)号：

CN108475657A

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

日高宣浩钉本弘训小坂井守

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

C04B35103

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20170112
2018-08-31	公开	公开

共 50 条

[1]

静电卡盘及静电卡盘的制造方法 [P].

小野浩司 .

中国专利 :CN112534565A ,2021-03-19

[2]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

一由拓 ;

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120322859A ,2025-07-15

[3]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

尾崎雅树 ;

森下德人 .

日本专利 :CN111480222B ,2024-05-28

[4]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

尾崎雅树 ;

森下德人 .

中国专利 :CN111480222A ,2020-07-31

[5]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

钉本弘训 ;

森下徳人 .

中国专利 :CN111868913A ,2020-10-30

[6]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN118830071A ,2024-10-22

[7]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

钉本弘训 ;

尾崎雅树 ;

渡边刚志 ;

高桥健太郎 .

中国专利 :CN111684574A ,2020-09-18

[8]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

前田佳祐 ;

尾崎雅树 ;

塩尻昌幸 ;

渡边刚志 ;

前田进一 ;

金原勇贵 .

中国专利 :CN112514046A ,2021-03-16

[9]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

前田佳祐 ;

尾崎雅树 ;

塩尻昌幸 ;

渡边刚志 ;

前田进一 ;

金原勇贵 .

日本专利 :CN112514046B ,2024-02-27

[10]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

乾敏祥 ;

一由拓 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118339645A ,2024-07-12

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