静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980011884.1

申请日：

2019-02-19

公开(公告)号：

CN111684574A

公开(公告)日：

2020-09-18

发明(设计)人：

钉本弘训尾崎雅树渡边刚志高桥健太郎

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L21683 H02N1300

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-18	公开	公开
2021-02-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20190219

共 50 条

[1]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

前田佳祐 ;

尾崎雅树 ;

塩尻昌幸 ;

渡边刚志 ;

前田进一 ;

金原勇贵 .

中国专利 :CN112514046A ,2021-03-16

[2]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

前田佳祐 ;

尾崎雅树 ;

塩尻昌幸 ;

渡边刚志 ;

前田进一 ;

金原勇贵 .

日本专利 :CN112514046B ,2024-02-27

[3]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

日高宣浩 ;

钉本弘训 ;

小坂井守 .

中国专利 :CN108475657A ,2018-08-31

[4]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

一由拓 ;

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120322859A ,2025-07-15

[5]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

尾崎雅树 ;

森下德人 .

日本专利 :CN111480222B ,2024-05-28

[6]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

尾崎雅树 ;

森下德人 .

中国专利 :CN111480222A ,2020-07-31

[7]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

乾敏祥 ;

一由拓 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118339645A ,2024-07-12

[8]

静电卡盘装置及静电卡盘装置的制造方法 [P].

钉本弘训 ;

森下徳人 .

中国专利 :CN111868913A ,2020-10-30

[9]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN118830071A ,2024-10-22

[10]

静电卡盘部件、静电卡盘装置及静电卡盘部件的制造方法 [P].

一由拓 ;

乾敏祥 ;

大塚刚史 .

日本专利 :CN118355482A ,2024-07-16

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