分束器相位测量装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910194928.7

申请日：

2009-09-01

公开(公告)号：

CN101634594B

公开(公告)日：

2010-01-27

发明(设计)人：

万玲玉周煜职亚楠孙建锋刘立人

申请人：

申请人地址：

201800 上海市800-211邮政信箱

IPC主分类号：

G01J900

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101631809089 IPC(主分类):G01J 9/00 专利号:ZL2009101949287 申请日:20090901 授权公告日:20100825 终止日期:20140901
2010-01-27	公开	公开
2010-08-25	授权	授权
2010-03-24	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

编码分束相位测量装置和测量方法 [P].

刘诚 ;

何西 ;

潘兴臣 ;

陶华 ;

朱健强 .

中国专利 :CN107300420B ,2017-10-27

[2]

一种快速测量唯相位空间光调制器相位调制特性的装置 [P].

马龙 ;

燕曼君 .

中国专利 :CN214173577U ,2021-09-10

[3]

用于激光干涉光刻系统的相位测量装置及其使用方法 [P].

朱煜 ;

王磊杰 ;

张鸣 ;

徐继涛 ;

成荣 ;

郝建坤 ;

李鑫 ;

杨开明 ;

范玉娇 ;

高思齐 .

中国专利 :CN110837213A ,2020-02-25

[4]

双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的装置及方法 [P].

陈强华 ;

孔祥悦 ;

孙启国 ;

吕洪波 ;

何广平 ;

司丽娜 ;

豆照良 ;

祖岩 ;

朱炜 ;

李艳红 ;

柴娟芳 ;

杨延竹 .

中国专利 :CN109855743A ,2019-06-07

[5]

一种可调分束比的相位延迟器装置 [P].

胡晓蕾 ;

张昆 ;

赵鸿 .

中国专利 :CN118859545A ,2024-10-29

[6]

偏振分束器及其制备方法、偏振分束方法 [P].

崔金明 ;

张昊清 ;

黄运锋 ;

李传锋 .

中国专利 :CN110456519A ,2019-11-15

[7]

反射式相位正交单频激光干涉测量装置及测量方法 [P].

乐燕芬 ;

金施嘉珞 ;

金涛 .

中国专利 :CN110487173B ,2019-11-22

[8]

一种基于可变分束器增强的相位测量方法及系统 [P].

钟伟 ;

汤俊 ;

堵子航 ;

周澜 ;

盛宇波 .

中国专利 :CN119374740A ,2025-01-28

[9]

用于相干合成激光射束的相对相位测量 [P].

M·黑夫纳 ;

T·梅茨格 .

中国专利 :CN108780010B ,2018-11-09

[10]

一种同步偏振成像分束器 [P].

李建欣 ;

沈燕 ;

柏财勋 ;

周建强 ;

刘勤 .

中国专利 :CN106019618B ,2016-10-12

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