制作氧化铟锡用的洗涤装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721263256.7

申请日：

2017-09-29

公开(公告)号：

CN207271700U

公开(公告)日：

2018-04-27

发明(设计)人：

张锦镜

申请人：

申请人地址：

511518 广东省清远市高新技术产业开发区百加工业园16号区台湾工业园1号办公楼

IPC主分类号：

B08B306

IPC分类号：

代理机构：

重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217

代理人：

舒梦来

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 3/06 申请日:20170929 授权公告日:20180427 终止日期:20210929
2018-04-27	授权	授权

共 50 条

[1]

制作氧化铟锡用的烧结装置 [P].

张锦镜 .

中国专利 :CN207197261U ,2018-04-06

[2]

用于制作氧化铟锡的反应筒 [P].

张锦镜 .

中国专利 :CN207237930U ,2018-04-17

[3]

氧化铟锡粉末 [P].

米泽岳洋 ;

山崎和彦 ;

林年治 .

中国专利 :CN103771496A ,2014-05-07

[4]

氧化铟锡膜及其制作方法 [P].

杨能辉 .

中国专利 :CN103031517A ,2013-04-10

[5]

用于氧化锡的洗涤装置 [P].

张锦镜 .

中国专利 :CN207192828U ,2018-04-06

[6]

氧化铟锡溅射设备的成膜装置和氧化铟锡溅射设备 [P].

张洁 ;

朱成顺 ;

蒋雷 .

中国专利 :CN211227318U ,2020-08-11

[7]

氧化铟锡图案曝光装置 [P].

行田道知 ;

浅见正利 .

中国专利 :CN103926808A ,2014-07-16

[8]

氧化铟锡膜用浸蚀液 [P].

山边纯成 .

中国专利 :CN1348165A ,2002-05-08

[9]

氧化铟锡层的形成 [P].

黄丽丽 ;

钟志国 .

中国专利 :CN101645336B ,2010-02-10

[10]

氧化铟锡层的形成 [P].

黄丽丽 ;

钟志国 .

中国专利 :CN103173719B ,2015-04-22

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