氧化铟锡膜及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110302041.2

申请日：

2011-10-09

公开(公告)号：

CN103031517A

公开(公告)日：

2013-04-10

发明(设计)人：

杨能辉

申请人：

申请人地址：

中国台湾台南市

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1434

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

韩蕾

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101713214105 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2011103020412 申请公布日:20130410
2013-05-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101452517654 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2011103020412 申请日:20111009
2013-04-10	公开	公开

共 50 条

[1]

氧化铟锡膜及其制备方法和应用 [P].

袁靖伟 ;

纪建超 ;

雷沛 ;

李久勇 .

中国专利 :CN119859785A ,2025-04-22

[2]

氧化铟锡膜用浸蚀液 [P].

山边纯成 .

中国专利 :CN1348165A ,2002-05-08

[3]

氧化铟锡层的蚀刻方法、芯片的制作方法 [P].

张彬彬 ;

苏财钰 ;

张涛 ;

苟先华 ;

林帅 .

中国专利 :CN113451473A ,2021-09-28

[4]

氧化铟锡低温镀膜方法 [P].

王学雷 ;

朱景河 ;

王鹏 ;

黄伟东 ;

黄亚清 ;

李建华 .

中国专利 :CN104746003B ,2015-07-01

[5]

氧化铟锡靶及制造方法和氧化铟锡透明导电膜及制造方法 [P].

具本庆 ;

尹汉镐 ;

朴柱玉 ;

朴炯律 ;

金眩秀 ;

崔成龙 ;

崔仲烈 ;

宋礼根 ;

朴峻弘 .

中国专利 :CN101457344B ,2009-06-17

[6]

氧化铟锡镀膜方法 [P].

陈建伦 ;

黄伟东 ;

邓泽新 ;

刘力明 ;

李建华 .

中国专利 :CN105331929A ,2016-02-17

[7]

氧化铟锡膜层稳定化处理方法及设备 [P].

李望平 ;

胡应河 .

中国专利 :CN112905068A ,2021-06-04

[8]

氧化铟锡溅射设备的成膜装置和氧化铟锡溅射设备 [P].

张洁 ;

朱成顺 ;

蒋雷 .

中国专利 :CN211227318U ,2020-08-11

[9]

氧化铟锡膜层稳定化处理方法及设备 [P].

李望平 ;

胡应河 .

中国专利 :CN112905068B ,2025-06-27

[10]

氧化铟锡粉末 [P].

米泽岳洋 ;

山崎和彦 ;

林年治 .

中国专利 :CN103771496A ,2014-05-07

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