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一种用于半导体产品生产的检测设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202122128879.6
申请日：
2021-09-03
公开(公告)号：
CN215678488U
公开(公告)日：
2022-01-28
发明(设计)人：
欧阳灿
裴彦明
龙志青
冷仁兵
申请人：
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区大浪街道新石社区华宁路52号恒昌荣星辉科技工业园G栋6层A区
IPC主分类号：
G01R104
IPC分类号：
G01R3126
代理机构：
深圳市汉唐知识产权代理有限公司 44399
代理人：
韦鳌
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-28 | 授权 | 授权 |