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一种半导体产品检测设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510294659.0
申请日：
2025-03-13
公开(公告)号：
CN119812066A
公开(公告)日：
2025-04-11
发明(设计)人：
徐维哲
刘意
杨靖
王鹏
申请人：
芯蓥智铖（重庆）科技有限公司
申请人地址：
400000 重庆市大渡口区跳磴镇海康路106号1号楼801
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/68
H01L21/66
代理机构：
上海申晟知识产权代理有限公司 31444
代理人：
许春生
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-16 | 授权 | 授权 |
| 2025-04-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250313 |