一种用于细长管件内壁镀膜的磁控溅射装置

被引：0

申请号：

CN202122269334.7

申请日：

2021-09-18

公开(公告)号：

CN216639630U

公开(公告)日：

2022-05-31

发明(设计)人：

涂溶章嵩王传彬张联盟沈强李志荣李迎春

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市洪山区珞狮路122号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1404

代理机构：

湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102

代理人：

官群;崔友明

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

用于磁控溅射镀膜设备的放气装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

陈军 ;

李弋舟 ;

陈曦 .

中国专利 :CN212199402U ,2020-12-22

[2]

一种用于磁控溅射的镀膜装置 [P].

文霜 ;

胡慧忠 ;

文欣霏 .

中国专利 :CN120700453A ,2025-09-26

[3]

一种用于大长径比金属管材内壁镀膜的磁控溅射装置 [P].

章嵩 ;

涂溶 ;

王传彬 ;

张联盟 ;

沈强 ;

李志荣 ;

李迎春 .

中国专利 :CN215925059U ,2022-03-01

[4]

一种同端进出水的细长管内壁镀膜用的磁控溅射靶 [P].

李志方 ;

冯晓庭 ;

龙本洋 .

中国专利 :CN222729878U ,2025-04-08

[5]

用于磁控溅射镀膜设备的梯凳及磁控溅射镀膜设备 [P].

臧世伟 .

中国专利 :CN221645038U ,2024-09-03

[6]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

朱杰 .

中国专利 :CN206666636U ,2017-11-24

[7]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

唐迎春 ;

丁平伍 ;

李琴 ;

江小军 ;

旷小奇 .

中国专利 :CN221028646U ,2024-05-28

[8]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

何晏兵 ;

曹永祥 ;

仇泽军 ;

李文铭 ;

江培杰 .

中国专利 :CN203683652U ,2014-07-02

[9]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

金宇 ;

陈溢祺 ;

朱忆雪 ;

朱东风 ;

朱运平 ;

金长利 .

中国专利 :CN212476873U ,2021-02-05

[10]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

张俊峰 ;

魏庆瑄 .

中国专利 :CN203021643U ,2013-06-26

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