一种磁控溅射镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220744804.9

申请日：

2012-12-31

公开(公告)号：

CN203021643U

公开(公告)日：

2013-06-26

发明(设计)人：

张俊峰魏庆瑄

申请人：

申请人地址：

200000 上海市金山区金山工业区月工路888号3幢21区

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1450

代理机构：

上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243

代理人：

孟湘明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-26	授权	授权
2017-01-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101745769343 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2012207448049 登记生效日:20170106 变更事项:专利权人变更前权利人:上海子创镀膜技术有限公司变更后权利人:马鞍山子创功能性膜工艺研究院有限公司变更事项:地址变更前权利人:200000 上海市金山区金山工业区月工路888号3幢21区变更后权利人:243001 安徽省马鞍山市经济技术开发区金山路1188号13栋201号
2023-01-17	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20121231 授权公告日:20130626

共 50 条

[1]

一种多功能磁控溅射镀膜装置 [P].

王燕丽 ;

王昕涛 .

中国专利 :CN208803137U ,2019-04-30

[2]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

唐迎春 ;

丁平伍 ;

李琴 ;

江小军 ;

旷小奇 .

中国专利 :CN221028646U ,2024-05-28

[3]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

臧世伟 ;

王超 .

中国专利 :CN221854753U ,2024-10-18

[4]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

唐志强 .

中国专利 :CN206127410U ,2017-04-26

[5]

磁控溅射镀膜装置 [P].

任远 ;

杜煦 ;

徐靖 ;

聂闯闯 ;

李衍辉 .

中国专利 :CN117604476A ,2024-02-27

[6]

磁控溅射镀膜装置 [P].

张春杰 .

中国专利 :CN103898462B ,2014-07-02

[7]

磁控溅射镀膜装置 [P].

胡佳 ;

宋鹤宇 ;

陈弹蛋 ;

胡克林 ;

陆路遥 .

中国专利 :CN223705714U ,2025-12-23

[8]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王同舟 ;

孙欲晓 ;

乞英超 ;

罗有明 ;

李衍辉 .

中国专利 :CN221566300U ,2024-08-20

[9]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王云靖 .

中国专利 :CN204779786U ,2015-11-18

[10]

磁控溅射镀膜装置 [P].

刘龙龙 ;

李亮生 ;

祁文杰 ;

刘群 .

中国专利 :CN223445626U ,2025-10-17

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