磁控溅射镀膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520423159.4

申请日：

2015-06-18

公开(公告)号：

CN204779786U

公开(公告)日：

2015-11-18

发明(设计)人：

王云靖

申请人：

申请人地址：

201506 上海市金山区九工路1568号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

上海申浩律师事务所 31280

代理人：

乐卫国

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	授权	授权
2020-09-08	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更事项:专利权人变更前:上海和辉光电有限公司变更后:上海和辉光电股份有限公司变更事项:地址变更前:201506 上海市金山区九工路1568号变更后:201506 上海市金山区九工路1568号

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜装置 [P].

胡佳 ;

宋鹤宇 ;

陈弹蛋 ;

胡克林 ;

陆路遥 .

中国专利 :CN223705714U ,2025-12-23

[2]

磁控溅射镀膜装置 [P].

刘龙龙 ;

李亮生 ;

祁文杰 ;

刘群 .

中国专利 :CN223445626U ,2025-10-17

[3]

磁控溅射镀膜装置及磁控溅射镀膜生产线 [P].

陈道逵 ;

汪振南 ;

杨永雷 .

中国专利 :CN209798089U ,2019-12-17

[4]

磁控溅射镀膜设备用旋转装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

田杰成 ;

李俊 .

中国专利 :CN215517615U ,2022-01-14

[5]

磁控溅射镀膜装置 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103031527A ,2013-04-10

[6]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN103789739A ,2014-05-14

[7]

磁控溅射镀膜装置 [P].

任远 ;

杜煦 ;

徐靖 ;

聂闯闯 ;

李衍辉 .

中国专利 :CN117604476A ,2024-02-27

[8]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN203683655U ,2014-07-02

[9]

磁控溅射镀膜装置 [P].

赵红艳 ;

钱涛 .

中国专利 :CN102212779A ,2011-10-12

[10]

磁控溅射镀膜装置 [P].

唐莲 ;

杨恒 ;

孙桂红 ;

祝海生 ;

黄乐 ;

黄国兴 .

中国专利 :CN112342516A ,2021-02-09

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