磁控溅射镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110160432.5

申请日：

2011-06-15

公开(公告)号：

CN102212779A

公开(公告)日：

2011-10-12

发明(设计)人：

赵红艳钱涛

申请人：

申请人地址：

215022 江苏省苏州市工业园区唯新路81号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司 32102

代理人：

陆明耀;陈忠辉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101143711722 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2011101604325 申请日:20110615
2013-05-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101582408228 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2011101604325 申请公布日:20111012
2011-10-12	公开	公开

共 50 条

[1]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

赵红艳 ;

钱涛 .

中国专利 :CN202157113U ,2012-03-07

[2]

磁控溅射镀膜装置 [P].

张春杰 .

中国专利 :CN103898462B ,2014-07-02

[3]

磁控溅射镀膜用的靶材组成及磁控溅射镀膜装置 [P].

李长春 ;

蒙峻 ;

焦纪强 ;

罗成 ;

魏宁斐 ;

刘建龙 ;

姚鹏 .

中国专利 :CN121065643A ,2025-12-05

[4]

磁控溅射镀膜阴极装置 [P].

白振中 ;

江少华 .

中国专利 :CN101812667A ,2010-08-25

[5]

磁控溅射镀膜装置 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103031527A ,2013-04-10

[6]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN103789739A ,2014-05-14

[7]

磁控溅射镀膜装置 [P].

任远 ;

杜煦 ;

徐靖 ;

聂闯闯 ;

李衍辉 .

中国专利 :CN117604476A ,2024-02-27

[8]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN203683655U ,2014-07-02

[9]

磁控溅射镀膜装置 [P].

唐莲 ;

杨恒 ;

孙桂红 ;

祝海生 ;

黄乐 ;

黄国兴 .

中国专利 :CN112342516A ,2021-02-09

[10]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王培红 ;

李晨光 ;

胡国栋 .

中国专利 :CN111893445A ,2020-11-06

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