磁控溅射镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910369473.1

申请日：

2019-05-05

公开(公告)号：

CN111893445A

公开(公告)日：

2020-11-06

发明(设计)人：

王培红李晨光胡国栋

申请人：

申请人地址：

330013 江西省南昌市昌北经济开发区黄家湖西路欧菲光科技园

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1456

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-06	公开	公开

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜阴极装置 [P].

白振中 ;

江少华 .

中国专利 :CN101812667A ,2010-08-25

[2]

磁控溅射镀膜装置 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103031527A ,2013-04-10

[3]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN103789739A ,2014-05-14

[4]

磁控溅射镀膜装置 [P].

任远 ;

杜煦 ;

徐靖 ;

聂闯闯 ;

李衍辉 .

中国专利 :CN117604476A ,2024-02-27

[5]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN203683655U ,2014-07-02

[6]

磁控溅射镀膜装置 [P].

赵红艳 ;

钱涛 .

中国专利 :CN102212779A ,2011-10-12

[7]

磁控溅射镀膜装置 [P].

唐莲 ;

杨恒 ;

孙桂红 ;

祝海生 ;

黄乐 ;

黄国兴 .

中国专利 :CN112342516A ,2021-02-09

[8]

磁控溅射镀膜装置 [P].

杜志游 ;

郭世平 .

中国专利 :CN212375363U ,2021-01-19

[9]

磁控溅射镀膜装置 [P].

李磊 ;

刘鹏飞 ;

雷艳辉 ;

朱潇潇 .

中国专利 :CN220432955U ,2024-02-02

[10]

磁控溅射镀膜装置 [P].

张春杰 .

中国专利 :CN103898462B ,2014-07-02

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