共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
磁控溅射镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321729912.3
申请日：
2023-07-03
公开(公告)号：
CN220432955U
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
李磊
刘鹏飞
雷艳辉
朱潇潇
申请人：
深圳综合粒子设施研究院
申请人地址：
518000 广东省深圳市光明区新湖街道圳园路268号3号楼3-6层
IPC主分类号：
C23C14/35
IPC分类号：
C23C14/56
代理机构：
深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414
代理人：
尹浩
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-02 | 授权 | 授权 |