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磁控溅射镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020352887.1
申请日：
2020-03-19
公开(公告)号：
CN212375363U
公开(公告)日：
2021-01-19
发明(设计)人：
杜志游
郭世平
申请人：
申请人地址：
201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号
IPC主分类号：
C23C1435
IPC分类号：
C23C1450
代理机构：
上海元好知识产权代理有限公司 31323
代理人：
徐雯琼;张静洁
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-19 | 授权 | 授权 |