磁控溅射镀膜装置及其工作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010196863.6

申请日：

2020-03-19

公开(公告)号：

CN113493902A

公开(公告)日：

2021-10-12

发明(设计)人：

杜志游

申请人：

申请人地址：

201201 上海市浦东新区金桥出口加工区（南区）泰华路188号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1450 C23C1454

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

徐雯琼;张静洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20200319
2021-10-12	公开	公开

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜装置及其工作方法 [P].

杜志游 ;

郭世平 .

中国专利 :CN113493903A ,2021-10-12

[2]

磁控溅射镀膜装置 [P].

杜志游 .

中国专利 :CN212375364U ,2021-01-19

[3]

磁控溅射镀膜装置 [P].

杜志游 ;

郭世平 .

中国专利 :CN212375363U ,2021-01-19

[4]

一种磁控溅射镀膜的装置及其工作方法 [P].

郑亮 ;

李鸿飞 .

中国专利 :CN112663009A ,2021-04-16

[5]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王同舟 ;

孙欲晓 ;

乞英超 ;

罗有明 ;

李衍辉 .

中国专利 :CN221566300U ,2024-08-20

[6]

磁控溅射镀膜装置 [P].

刘龙龙 ;

李亮生 ;

祁文杰 ;

刘群 .

中国专利 :CN223445626U ,2025-10-17

[7]

夹持设备及其工作方法、磁控溅射装置 [P].

肖磊 ;

陈一民 ;

田忠朋 .

中国专利 :CN105887033A ,2016-08-24

[8]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[9]

磁控溅射镀膜装置 [P].

黄登聪 ;

彭立全 .

中国专利 :CN103031527A ,2013-04-10

[10]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王鲁南 ;

王建华 ;

窦立峰 .

中国专利 :CN103789739A ,2014-05-14

← 1 2 3 4 5 →