单片硅片清洗机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420648827.9

申请日：

2014-11-03

公开(公告)号：

CN204204813U

公开(公告)日：

2015-03-11

发明(设计)人：

吴耀辉周炳

申请人：

申请人地址：

江苏省苏州市张家港市塘市开发区南园路

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B302

代理机构：

常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231

代理人：

陈书华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-11	授权	授权

共 50 条

[1]

单片硅片清洗机台 [P].

吴耀辉 ;

周炳 .

中国专利 :CN104319252A ,2015-01-28

[2]

一种硅片清洗机台 [P].

马振兴 .

中国专利 :CN221046756U ,2024-05-31

[3]

硅片清洗机 [P].

陈春晖 .

中国专利 :CN202174082U ,2012-03-28

[4]

一种硅片清洗机台 [P].

刘海啸 ;

马兴蓬 ;

于德意 .

中国专利 :CN117884413A ,2024-04-16

[5]

一种硅片清洗机台 [P].

刘海啸 ;

马兴蓬 ;

于德意 .

中国专利 :CN117884413B ,2024-05-31

[6]

晶圆清洗机台 [P].

吕慧超 ;

高英哲 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN209487474U ,2019-10-11

[7]

保护装置及单片机清洗机台 [P].

施龚伟 ;

张弢 ;

刘鹏 .

中国专利 :CN212018870U ,2020-11-27

[8]

基底清洗机台 [P].

张杰真 ;

刘命江 ;

方桂芹 .

中国专利 :CN209298082U ,2019-08-23

[9]

硅片测速装置和单片清洗机 [P].

崔卓彦 .

中国专利 :CN119716128A ,2025-03-28

[10]

电子装置油渍清洗机台 [P].

陈茂钦 ;

朱佳建 .

中国专利 :CN220406489U ,2024-01-30

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