单片硅片清洗机台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410609033.6

申请日：

2014-11-03

公开(公告)号：

CN104319252A

公开(公告)日：

2015-01-28

发明(设计)人：

吴耀辉周炳

申请人：

申请人地址：

江苏省苏州市张家港市塘市开发区南园路

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B302

代理机构：

常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231

代理人：

陈书华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-28	公开	公开
2015-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101599917151 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2014106090336 申请日:20141103
2018-06-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20150128

共 50 条

[1]

单片硅片清洗机台 [P].

吴耀辉 ;

周炳 .

中国专利 :CN204204813U ,2015-03-11

[2]

一种硅片清洗机台 [P].

刘海啸 ;

马兴蓬 ;

于德意 .

中国专利 :CN117884413A ,2024-04-16

[3]

一种硅片清洗机台 [P].

马振兴 .

中国专利 :CN221046756U ,2024-05-31

[4]

一种硅片清洗机台 [P].

刘海啸 ;

马兴蓬 ;

于德意 .

中国专利 :CN117884413B ,2024-05-31

[5]

硅片测速装置和单片清洗机 [P].

崔卓彦 .

中国专利 :CN119716128A ,2025-03-28

[6]

硅片清洗机 [P].

陈春晖 .

中国专利 :CN202174082U ,2012-03-28

[7]

清洗机台 [P].

兰升友 ;

袁山富 ;

文成龙 .

中国专利 :CN217306453U ,2022-08-26

[8]

晶圆清洗机台 [P].

吕慧超 ;

高英哲 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN209487474U ,2019-10-11

[9]

喷嘴清洗装置及清洗机台 [P].

胡博 ;

李耀峰 ;

汤军 ;

吴静宇 ;

杨明陆 .

中国专利 :CN214554512U ,2021-11-02

[10]

保护装置及单片机清洗机台 [P].

施龚伟 ;

张弢 ;

刘鹏 .

中国专利 :CN212018870U ,2020-11-27

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