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干蚀刻方法及干蚀刻装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980001243.8
申请日：
2019-02-08
公开(公告)号：
CN111801773A
公开(公告)日：
2020-10-20
发明(设计)人：
小藤直行
桑原谦一
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L213065
IPC分类号：
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
李国华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20190208 |