干式蚀刻装置及干式蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880015720.8

申请日：

2008-05-08

公开(公告)号：

CN101681830B

公开(公告)日：

2010-03-24

发明(设计)人：

森川泰宏邹红红林俊雄

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

C23C410

代理机构：

北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432

代理人：

王轶;李伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-04-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001358717 IPC(主分类):H01L 21/3065 专利申请号:2008800157208 申请日:20080508
2014-03-12	授权	授权
2010-03-24	公开	公开

共 50 条

[1]

干式蚀刻装置及干式蚀刻方法 [P].

山中通成 .

中国专利 :CN1534737A ,2004-10-06

[2]

干式蚀刻方法 [P].

森川泰宏 ;

邹红红 ;

林俊雄 ;

佐藤正幸 .

中国专利 :CN101681826B ,2010-03-24

[3]

干式蚀刻气体及干式蚀刻方法 [P].

关屋章 ;

杉本达也 ;

山田俊郎 ;

间濑贵信 .

中国专利 :CN101015044A ,2007-08-08

[4]

干蚀刻设备及干蚀刻方法 [P].

高桥秀治 .

中国专利 :CN102280340A ,2011-12-14

[5]

干蚀刻装置及干蚀刻方法 [P].

及川弘太 .

中国专利 :CN1649105A ,2005-08-03

[6]

干蚀刻方法及干蚀刻装置 [P].

小藤直行 ;

桑原谦一 .

中国专利 :CN111801773A ,2020-10-20

[7]

干式蚀刻气体组合物及干式蚀刻方法 [P].

加藤惟人 ;

池谷庆彦 ;

涩泽幸伸 ;

清水久志 .

中国专利 :CN110546742A ,2019-12-06

[8]

干式蚀刻方法 [P].

大森启之 ;

八尾章史 .

中国专利 :CN114512399A ,2022-05-17

[9]

干式蚀刻方法 [P].

铃木圣唯 ;

八尾章史 .

中国专利 :CN111279460A ,2020-06-12

[10]

干式蚀刻方法 [P].

大森启之 ;

八尾章史 .

中国专利 :CN107924837B ,2018-04-17

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