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干式蚀刻方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201680044981.7
申请日：
2016-07-01
公开(公告)号：
CN107924837B
公开(公告)日：
2018-04-17
发明(设计)人：
大森启之 八尾章史
申请人：
申请人地址：
日本山口
IPC主分类号：
H01L213065
IPC分类号：
H05H146
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
张世俊
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2018-04-17 公开 公开
2022-02-01 授权 授权
2018-05-11 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20160701
共 50 条
[1]
干式蚀刻方法 [P]. 
大森启之 ;
八尾章史 .
中国专利 :CN114512399A ,2022-05-17
[2]
干式蚀刻方法 [P]. 
大森启之 ;
八尾章史 .
日本专利 :CN114512399B ,2025-06-24
[3]
干蚀刻方法 [P]. 
大森启之 ;
铃木圣唯 .
中国专利 :CN112997280A ,2021-06-18
[4]
干蚀刻方法、干蚀刻剂及其保存容器 [P]. 
大森启之 ;
上田辰德 ;
池田晋也 .
中国专利 :CN113330539A ,2021-08-31
[5]
干蚀刻方法 [P]. 
森川泰宏 ;
邹红罡 .
中国专利 :CN101652841B ,2010-02-17
[6]
干式蚀刻装置及干式蚀刻方法 [P]. 
森川泰宏 ;
邹红红 ;
林俊雄 .
中国专利 :CN101681830B ,2010-03-24
[7]
干式蚀刻方法 [P]. 
森川泰宏 ;
邹红红 ;
林俊雄 ;
佐藤正幸 .
中国专利 :CN101681826B ,2010-03-24
[8]
蚀刻方法和蚀刻装置 [P]. 
桥本笃明 ;
隣嘉津彦 ;
小野洋平 ;
堤贤吾 ;
井上宽扬 .
日本专利 :CN116137226B ,2025-11-11
[9]
干式蚀刻方法 [P]. 
铃木圣唯 ;
八尾章史 .
中国专利 :CN111279460A ,2020-06-12
[10]
干式蚀刻方法 [P]. 
森川泰宏 ;
邹红罡 .
中国专利 :CN101512736A ,2009-08-19
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