干式蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880015914.8

申请日：

2008-05-08

公开(公告)号：

CN101681826B

公开(公告)日：

2010-03-24

发明(设计)人：

森川泰宏邹红红林俊雄佐藤正幸

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L213065 H01L4118 H01L4122 H03H302

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

雒运朴;李伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-19	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001887025 IPC(主分类):H01L 21/306 专利申请号:2008800159148 申请日:20080508
2011-08-10	授权	授权
2010-03-24	公开	公开

共 50 条

[1]

干式蚀刻装置及干式蚀刻方法 [P].

森川泰宏 ;

邹红红 ;

林俊雄 .

中国专利 :CN101681830B ,2010-03-24

[2]

干式蚀刻气体及干式蚀刻方法 [P].

关屋章 ;

杉本达也 ;

山田俊郎 ;

间濑贵信 .

中国专利 :CN101015044A ,2007-08-08

[3]

干蚀刻方法及干蚀刻装置 [P].

小藤直行 ;

桑原谦一 .

中国专利 :CN111801773A ,2020-10-20

[4]

干蚀刻设备及干蚀刻方法 [P].

高桥秀治 .

中国专利 :CN102280340A ,2011-12-14

[5]

干式蚀刻方法 [P].

大森启之 ;

八尾章史 .

中国专利 :CN114512399A ,2022-05-17

[6]

干式蚀刻方法 [P].

铃木圣唯 ;

八尾章史 .

中国专利 :CN111279460A ,2020-06-12

[7]

干式蚀刻方法 [P].

大森启之 ;

八尾章史 .

中国专利 :CN107924837B ,2018-04-17

[8]

干式蚀刻方法 [P].

大森启之 ;

八尾章史 .

日本专利 :CN114512399B ,2025-06-24

[9]

干蚀刻方法 [P].

高明辉 ;

三浦利仁 ;

深泽孝之 ;

清水昭贵 ;

栉引理人 ;

山下朝夫 ;

樋口文彦 .

中国专利 :CN1310293C ,2004-10-06

[10]

干蚀刻方法 [P].

清水昭贵 ;

鹤田敬 ;

榎本隆 ;

冈广实 ;

高明辉 .

中国专利 :CN1277293C ,2004-10-06

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