一种大面积、高反射率氮化镓/纳米多孔氮化镓分布布拉格反射镜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711277378.6

申请日：

2017-12-06

公开(公告)号：

CN107895690A

公开(公告)日：

2018-04-10

发明(设计)人：

肖之光

申请人：

申请人地址：

250199 山东省济南市历城区山大南路20号8号楼1单元1902号

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

H01L3300 H01S5028 H01S5125

代理机构：

济南金迪知识产权代理有限公司 37219

代理人：

陈桂玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-04-10	公开	公开
2020-11-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/205 申请公布日:20180410
2018-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/205 申请日:20171206

共 50 条

[1]

氮化物分布布拉格反射镜及其制备方法 [P].

张保平 ;

尚景智 .

中国专利 :CN101478115A ,2009-07-08

[2]

GaAs衬底的分布布拉格反射镜的制备方法 [P].

赵勇明 ;

杨国文 ;

张艳春 ;

赵卫东 .

中国专利 :CN110224299A ,2019-09-10

[3]

氮化镓的分布式布拉格反射镜及谐振腔的制备方法 [P].

张跃进 ;

黄德昌 ;

李波 ;

展爱云 ;

胡勇 .

中国专利 :CN109950792A ,2019-06-28

[4]

侧壁具有分布布拉格反射镜的氮化镓基发光二极管及其制备方法 [P].

彭康伟 ;

林素慧 ;

刘传桂 ;

林科闯 .

中国专利 :CN101872823A ,2010-10-27

[5]

制备分布布拉格反射镜的方法及垂直腔面发射激光器 [P].

赵勇明 ;

杨国文 ;

张艳春 ;

赵卫东 .

中国专利 :CN110190513A ,2019-08-30

[6]

基于多孔AlGaN的紫外分布布拉格反射镜及其制备方法 [P].

姬小利 ;

谭晓宇 ;

魏同波 ;

王军喜 ;

杨富华 ;

李晋闽 .

中国专利 :CN110190511A ,2019-08-30

[7]

一种分布布拉格反射镜的制备方法及垂直腔面发射激光器 [P].

赵勇明 ;

杨国文 ;

张艳春 ;

赵卫东 .

中国专利 :CN110165550A ,2019-08-23

[8]

一种具有分布布拉格反射镜的InP薄膜的制备方法 [P].

曹得重 .

中国专利 :CN110299435B ,2019-10-01

[9]

一种氮化物分布式布拉格反射镜及制备方法与应用 [P].

曲爽 ;

李树强 ;

李毓锋 ;

王成新 ;

徐现刚 .

中国专利 :CN102593291B ,2012-07-18

[10]

砷化镓/砷化铝分布布拉格反射镜的湿法腐蚀方法 [P].

李若园 ;

徐波 ;

王占国 .

中国专利 :CN100466404C ,2007-10-31

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