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等离子体处理装置和等离子体处理方法
被引：0
申请号：
CN202210524489.7
申请日：
2022-05-13
公开(公告)号：
CN115346851A
公开(公告)日：
2022-11-15
发明(设计)人：
佐佐木佑治
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-11-15 | 公开 | 公开 |