等离子体处理装置和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010531470.6

申请日：

2020-06-11

公开(公告)号：

CN112117178A

公开(公告)日：

2020-12-22

发明(设计)人：

山田和人远藤宏纪佐藤贵志

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20200611
2020-12-22	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山田和人 ;

远藤宏纪 ;

佐藤贵志 .

日本专利 :CN112117178B ,2024-07-12

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

岩田学 ;

中山博之 ;

增泽健二 ;

本田昌伸 .

中国专利 :CN101515545B ,2009-08-26

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山岸幸司 ;

白泽大辅 .

中国专利 :CN112992643A ,2021-06-18

[4]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

塚原利也 ;

山边周平 ;

谷地晃汰 ;

佐藤徹治 ;

内田阳平 ;

铃木步太 ;

田村洋典 ;

花冈秀敏 ;

佐佐木淳一 .

日本专利 :CN111261511B ,2024-06-18

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

西野雅 ;

真壁正嗣 ;

长山将之 ;

半田达也 ;

绿川良太郎 ;

小林启悟 ;

仁矢铁也 .

中国专利 :CN103959447A ,2014-07-30

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

塚原利也 ;

山边周平 ;

谷地晃汰 ;

佐藤徹治 ;

内田阳平 ;

铃木步太 ;

田村洋典 ;

花冈秀敏 ;

佐佐木淳一 .

中国专利 :CN111261511A ,2020-06-09

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

藤井徹 ;

今田祥友 ;

大槻兴平 .

日本专利 :CN111383899B ,2024-07-12

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

永海幸一 ;

永关一也 ;

桧森慎司 .

中国专利 :CN111146061A ,2020-05-12

[9]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

安田健太 ;

久保田徹 ;

近藤崇 ;

石田胜广 .

中国专利 :CN106104768B ,2016-11-09

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

永海幸一 ;

永关一也 ;

桧森慎司 .

日本专利 :CN111146061B ,2024-11-08

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