基于e指数半导体器件的嵌入式高灵敏度微陀螺仪

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110299726.6

申请日：

2011-09-29

公开(公告)号：

CN102506842A

公开(公告)日：

2012-06-20

发明(设计)人：

刘俊唐军石云波郭浩赵锐

申请人：

申请人地址：

030051 山西省太原市中北大学科研楼413室

IPC主分类号：

G01C195621

IPC分类号：

G01C195628

代理机构：

太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100

代理人：

朱源

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101301318367 IPC(主分类):G01C 19/5621 专利申请号:2011102997266 申请日:20110929
2018-09-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01C 19/5621 申请日:20110929 授权公告日:20131120 终止日期:20170929
2013-11-20	授权	授权
2012-06-20	公开	公开

共 50 条

[1]

基于e指数半导体器件的嵌入式高灵敏度微加速度计 [P].

唐军 ;

刘俊 ;

石云波 ;

赵锐 ;

郭浩 .

中国专利 :CN102507978A ,2012-06-20

[2]

高灵敏度体声波硅微陀螺仪 [P].

王有东 .

中国专利 :CN104457725B ,2015-03-25

[3]

高灵敏度体声波硅微陀螺仪 [P].

司红康 .

中国专利 :CN204241000U ,2015-04-01

[4]

高灵敏度的光纤陀螺仪 [P].

周柯江 ;

申越 ;

张大茂 .

中国专利 :CN101694386A ,2010-04-14

[5]

高灵敏度盘状体声波硅微陀螺仪 [P].

司红康 .

中国专利 :CN105737810B ,2016-07-06

[6]

提高灵敏度的光学半导体器件 [P].

岩井刚 .

中国专利 :CN101110456A ,2008-01-23

[7]

一种基于半导体光放大器的高灵敏度光纤陀螺仪 [P].

掌蕴东 ;

王楠 ;

袁萍 .

中国专利 :CN101709972A ,2010-05-19

[8]

具有双倍灵敏度的光纤陀螺仪 [P].

周柯江 ;

吴巍然 ;

卢成杰 ;

冼拓华 .

中国专利 :CN108195367B ,2018-06-22

[9]

一种高灵敏度的单轴MEMS陀螺仪 [P].

邹波 ;

郑青龙 ;

刘爽 .

中国专利 :CN110319822A ,2019-10-11

[10]

基于后装配工艺的高灵敏度谐振式环形陀螺结构 [P].

周金秋 ;

王鑫鹏 ;

朱峰 ;

范柚攸 ;

黄齐白 ;

张龙 ;

熊开利 .

中国专利 :CN118980365A ,2024-11-19

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